Специалисты Стэнфордского университета в сотрудничестве с инженерами Toshiba создали первую в мире CMOS-микросхему, в которой соединения были выполнены из нанотрубок. Необычное полупроводниковое изделие было изготовлено на производственных мощностях Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd. (TSMC). Схема, состоящая, в общей сложности, из 11000 транзисторов, включала в себя 256 кольцевых генераторов.

Конечно, далеко не все соединения в микросхеме были выполнены из нанотрубок. Точнее говоря, кольцевые генераторы в массиве были сформированы по обычной технологии — в каждом из них не хватало только одного соединения. Дополнив схему нанотрубками, ученые обеспечили ее работоспособность, и продемонстрировали жизнеспособность идеи применения новых проводников взамен медных. Интересно, что они использовали так называемые многослойные трубки длиной 5 мкм и диаметром 50-100 нм (примерно такого же размера, как медные проводники). В перспективе планируется перейти на однослойные трубки диаметром 1 нм.

Секрет подхода, использованного для точного позиционирования трубок, заключается в применении суспензии, содержащей трубки, и возможности независимо включать и выключать кольцевые генераторы. Переменный ток, протекающий в цепях генераторов, «притягивал» трубки к определенным участкам кристалла — именно туда, где необходимо было сформировать проводник. Как только трубка занимала требуемое место, генератор отключали, оставшуюся суспензию удаляли. Пока успехи ученых могут разочаровать — «подключить» успешно удалось только 19 из 256 генераторов. Однако 16 из этих 19 продемонстрировали работу на частоте 800 МГц и более, подтвердив претензии нанотрубок на роли быстродействующих проводников.

Источник: http://www.ixbt.com/